>>機能:
1、最も現代的な加工技術を持ち、開発技術自体が十分な精度を持つなどその品質を保証する2、下地に純チタン層がめっきされ、表面に120 nm厚のAu膜があり、特厚金層を持つと呼ばれ、長さだけでなく
期安定保存が可能であり、しかも極めて良好な導電性を有する
3、グリッド状の双方向構造を有し、初期に使用された一次銅網構造と類似し、国内外で唯一、任意の2つの垂直方向の走査電子顕微鏡、電子プローブの画像の拡大倍率を同時に検査または補正することができる標本
4、ドイツPTB国際で最も権威のある計量型原子間力顕微鏡の測定研究報告書と研究者の研究報告書が正式に発表された(「走査電子顕微鏡の測長問題の討論」という本を参照)、即ち現在最も精度が良く、追跡可能な検査方法を採用し、信頼できる文献根拠がある
5、S 1000は我が国の国家計量研究院の複数回の検査テストを経て、そして何度も合格証明書を獲得した、
6、S 1000は2005年に全国マイクロビーム標識委員会の関連専門家の審査を通過し、国家標準サンプルを承認する資格を備え、しかも多くのユーザーのここ10年の使用を経て、その品質が優れていることを証明した
7、公開出版された「走査電子顕微鏡測長問題の討論」の専門書は実際にはS 1000の総合的な研究開発報告書である、これもこのような標本の中の唯一である。
8、安価で保存しやすく、各走査電子顕微鏡と電子プローブ実験室に普及しやすい
9、機能が多く、用途が多い
(1)任意の2つの垂直方向の走査電子顕微鏡の画像の拡大倍率を同時に検査または補正するために使用でき、10×~ 100.000×以上の範囲の画像拡大倍率を較正する最も有効な図形標準サンプルである:GB/T 27788「マイクロビーム分析1走査電子顕微鏡1画像拡大倍率較正ガイドライン」を実行する1つの精密な較正標準サンプルである
(2)同一スケールの物体、ミリスケールからナノスケールの長さの正確な比較測定に直接使用でき、GB/T 16594とGB/T 20307ミクロンとナノメートルの測定を実行するための不可欠な正確な測定ツールである
(3)画像のX、Y方向の歪みとエッジの歪みを検査するために使用でき、走査電子顕微鏡の画像品質を評価する重要なツールである
(4)試料台の傾斜角と電子傾斜及び回転調整機能の検査にも良い作用がある
(5)標準見本上の「ドット」画像を利用して、電子ビームに対してドリフト検査とサンプル台リセット検査を行うことができる
用途:
(1)任意の2つの垂直方向における走査電子顕微鏡の画像の拡大倍率を同時に検査または補正するために用いることができ、10×~ 100000×の範囲の画像拡大倍率を校正する最も有効な図形標準サンプルである
(2)画像のX、Y方向の歪みとエッジの歪みを検査するために使用でき、走査電子顕微鏡の画像品質を評価する重要なツールである
(3)同一スケールの物体長の正確な照合測定に直接使用できる
(4)試料台の傾斜角と電子傾斜及び回転調整機能の検査にも良い作用がある
(5)標準見本上の「ドット」画像を利用して、電子ビームに対してドリフト検査とサンプル台リセット検査を行うことができる
標準サンプルの形状、規格、包装:
S 1000ミクロン一サブミクロン級シリーズ標準サンプルは、全体として5 mm×5 mm 0.5 mm(長さ×幅×厚さ)サイズの小さな四角形である。本体図形は1つの「回」字形のブロックで、最外枠の辺の長さは約2 mm、内枠の辺の長さは約12 mmで、内枠の中にX、Y軸で4つの象限に分けられ、X、Y軸には垂直座標軸方向の線の距離20 umの短い平行線が作られ、4つの象限にはそれぞれ線の距離が40 um、20 um 10 umの格子メッシュ図形と線の距離が5 umのX、Yの双方向平行線の図形が作られ、内枠の中部にはまた「回」字形のブロックがあり、大枠の辺の長は約160 m、小枠の辺の長は約50 um、大枠と小枠の間にX方向とY方向にはいずれも線距離が5 umの平行線条があり、小枠の中には線距離が1 umまたは05 umのX、Y双方向平行線パターン(図1参照)は、5 mと1 umまたは05 umの線間構造に十字形とドットがあり、大きな拡大倍率の下で画像の凝集と非点収差調整に使用でき、異なる線間距離の大きさは10×〜10000の拡大倍率範囲の校正に使用でき、40 um、20μmと10 umの線間構造を方形に設計したのは、拡大倍率を正確に校正しながら、画像の歪み、非点収差などを校正するためであり、5μmの線間構造もX、Yの2方向の平行線を同時に持ち、X、Yの2方向の拡大倍の校正を容易にするためである標準器を機械的に回転させる必要はありません。
標準サンプルの安定性:
標準サンプルマトリックス材料は単結晶シリコンまたは石英ガラス基板であり、材料特性は安定である。標準サンプルを観察する時、標準サンプルは良好な導電性を持って、しかも走査電子顕微鏡下で発生した図形はとても良いコントラストを持って、走査電子顕微鏡下あるいは光学顕微鏡下で何度も長時間の観察を行った後、標準サンプルの図形あるいは線間構造が変形したり、その他の損傷が発生したりしていない、すなわち標準サンプルは電子ビームの繰り返し照射下で安定している。